咸陽(yáng)陶瓷研究設計院有限公司非氧化物研究所主要從事碳化硅陶瓷、C/C及C/SiC陶瓷基復合材料的制備科學(xué)與新工藝研究。
一、主要研究方向：
集成電路制造裝超精密碳化硅陶瓷零部件
光學(xué)系統用碳化硅陶瓷反射鏡
高溫主動(dòng)冷卻用定向直孔發(fā)汗陶瓷
防彈梯度碳化硅陶瓷裝甲
高溫耐燒蝕C/C及C/SiC陶瓷基復合材料抗氧化涂層
二、材料制備工藝研究
大尺寸、復雜形狀陶近凈尺寸凝膠注模成型制備技術(shù)
特種陶瓷3D打印制備技術(shù)
水基冷凍澆注成型技術(shù)
室溫冷凝成型技術(shù)
C/C及C/SiC復合材料PIP－CVI、RMI制備技術(shù)
大面積、高致密、低缺陷SiC膜層CVD制備技術(shù)
本單位生產(chǎn)碳化硅陶瓷手臂，碳化硅陶瓷托盤(pán)、碳化硅真空吸盤(pán)等高精密部件，用于IC制造行業(yè)的硅片傳輸及關(guān)鍵制程用晶圓的承載，為IC制造業(yè)提供技術(shù)支撐。
碳化硅陶瓷材料具有低膨脹、高導熱，高彈性模量等特點(diǎn)，本單位生產(chǎn)的真空吸盤(pán)采用中空、不對稱(chēng)薄板結構設計，產(chǎn)品具有高穩定性、高輕量化及極低的晶圓接觸面積等特點(diǎn)；多孔吸盤(pán)可調整孔隙結構及孔隙率滿(mǎn)足不同工藝要求，產(chǎn)品具有良好的耐化學(xué)腐蝕性，目前真空吸盤(pán)及多孔吸盤(pán)已經(jīng)應用于IC制造行業(yè)的各個(gè)環(huán)節。
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